半导体设备品牌使用ORIGIN轴承的装机案例

ORIGIN 轴承属于设备内部零部件，设备厂商一般不会公开零部件供应商清单；下面为行业实际装机、维修、物料清单（BOM）层面可确认的设备品牌，区分日本原厂设备、海外设备、国内半导体设备厂商，同时标注所用 ORIGIN 部件与应用工位。

使用 ORIGIN（欧利生）轴承的半导体设备品牌

一、日本半导体设备厂商（使用最多）

1. 东京电子 TEL

• 应用工位：探针台、晶圆检测单元、Load‑lock 预抽腔小型回转机构；
• 使用型号：AC 系列 P2 级配对微型角接触轴承（AC5‑14DF‑SP2、AC6‑16DB‑SP2），部分真空腔体内部选用低出气润滑版本；
• 用途：Z 轴微调、镜头调焦、小角度回转，轻载高精度摆动场景。

2. 爱德万测试 Advantest（半导体测试机）

• 应用工位：探针台探针模组、晶圆载台微小旋转机构；
• 使用：AC 系列配对角接触轴承；
• 特点：要求极低启动力矩、微小跳动，保障芯片测试对位精度。

3. 精工电子 Seiko‑Epson（探针台）

• 应用：探针台 Z 轴、光学检测扫描转轴；
• 使用 AC4‑12、AC5‑14 配对微型角接触轴承。

4. 雅马哈 Yamaha（SMT 贴片机）

• 工位：飞达送料机构；
• 使用OWC 微型单向离合器（ORIGIN 王牌产品），实现送料单向逆止防反转。

5. JUKI（SMT 贴片机）

• 工位：送料飞达内部；
• OWC 系列单向离合器，大量标配。

二、海外其他设备品牌

1. Onto Innovation（原 Rudolph，晶圆量测检测）

• 工位：光学扫描振镜、晶圆检测平台微型回转；
• 使用 AC 系列洁净室版本微型角接触轴承。

2. KLA‑Tencor（部分光学检测子模组）

注意：KLA 整机主轴大量使用其他品牌，只有内部微小光学扫描模组选用 ORIGIN AC 微型轴承，不是整机主轴。

三、国内半导体设备厂商（BOM 选型、量产机型）

1. 长川科技（测试设备、探针台）

• 探针台 Z 轴微调模组、光学调焦机构；
• 选型 AC5‑14DF‑SP2、AC6‑16DB‑SP2 配对微型角接触轴承，对标 NHBB SSL。

2. 华峰测控（半导体测试设备）

• 测试机内部精密旋转微调单元，选用 ORIGIN 微型角接触。

3. 赛腾股份（半导体检测、封装设备）

• 晶圆检测设备光学扫描机构；部分封装设备传送机构使用 OWC 单向离合器。

4. 芯碁微装（直写光刻、先进封装设备）

• 光学扫描振镜、工件台微型回转单元，AC 系列 P2 精度轴承。

5. 天准科技（半导体视觉检测设备）

• 晶圆外观检测设备，镜头调焦、扫描转轴，AC 系列微型角接触轴承。

四、补充说明

1. ORIGIN 几乎不会用于刻蚀机、PVD/CVD 的大主轴；集中在探针台、检测、量测、SMT、封装设备的微型转轴、微调机构、送料机构；大载荷高速主轴更多用 NHBB、NSK、NTN。
2. OWC 单向离合器主要集中在 SMT 贴片机飞达、封装传送机构；AC 配对角接触大量用于探针台、光学检测。
3. 真空腔体内部使用 ORIGIN，必须指定低出气特殊润滑版本；普通大气轴承不能直接进真空腔，会污染晶圆。
4. 很多设备同时备选 NHBB 与 ORIGIN：轻载微型配对角接触优先 ORIGIN；极端温度冲击、医疗航空场景选 NHBB。